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卷积222017
能源系统与环境工程进步国际会议 |
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文章号 | 万九 | |
页数 | 7 | |
多尔市 | https://doi.org/10.1051/e3sconf/20172200090 | |
在线发布 | 2017年11月7日 |
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22号00090(2017)
脉冲沉积参数对铝倾氧化薄膜电光特性的影响
一号Lublin技术大学环境工程学院可再生能源工程学院Nadbystrzycka40B20-618Lublin波兰
2里昂纳米技术学院-INL、UMR CNRS 5270CNRS、里昂大学、INSA de Lyon
*对应作者 :e.krawczak@pollub.pl
透明导电Oxides特征高可见传输和低电阻在光电技术中发挥重要作用铝化氧化锌(AZO)是可应用薄膜太阳电池(CIGS或CdTePV技术)以及其他微电子应用的TCO之一本文调查了ZnO:L薄膜沉积式RF磁场喷射法的一些光电特性AZO层嵌入苏打石灰玻璃基件,使用可变技术参数,如沉降室压力、电源应用和过程温度AZO电影组成通过EDS方法调查沉积层偏差和折射索引依赖某些技术参数测试传输器和板块抗药性
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